技术特点:
-抽气速率可达34L/min,极限真空度10 mbar abs
-100 % 无油,可无污染的传输、排空和压缩气体
-KNF自我干燥功能,在不影响真空度的前提下,自动用高速气流吹出冷凝在泵头的液体。既可以缩短工艺时间,有很好的保护了泵头。
-具有很好抗化学腐蚀性,适用于腐蚀性气体和蒸汽
-免维护
-绿色环保
-泄漏率可达 6 x 10-3 mbar x l/s
技术参数:
尺寸:
性能:
精密研磨抛光机:UNIPOL-900Z振动抛光机
GZK-103G 高真空系统
MSK-SFM-DS 小型盘式破碎研磨机
低温球磨系列
低真空CVD系统--GSL-1700X-F3LV 1700℃单温区三通道混气CVD系统
MSK-CSE-300 电动分条机
软包电池 MSK-121 极耳裁切整形机
MSK-SFM-14 滚筒式混料机
TEM 制样仪器系列
等离子体增强CVD管炉(PECVD方法)--OTF-1200X-S-HPCVD 坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉